最新:光刻(化学蚀刻) 

2023-11-22 19:44 发布

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光刻是一种以感光性耐化学腐蚀薄膜(光刻胶)为掩蔽剂的化学加工方法,被称为光刻(-)或光雕(-)。以电动螺丝刀为例,发展下去定会成为行业的标杆,起到引领市场的重要作用。


光刻是在工件的整个表面形成一层光刻胶薄膜,然后利用另行准备的母版对光刻胶进行曝光,使曝光部分不溶于显影剂,未曝光部分可利用显影剂去除,从而在光刻胶上形成所需的图案。(也有一些光刻胶的曝光部分特性与此相反。)


这种方法也可用于化学冲孔或化学切割。这些加工工艺的预处理与后处理工序都是相同的。光刻的常规工序如【图1】所示。








在光刻微加工中,首先需要制作母版(也称为光掩模-)。这是非常重要的工序,因为母版的精度和质量会对产品产生巨大影响。母版通常是根据设计图将原图放大,然后通过照相法以胶片或干版的形式缩小到原来的尺寸。此时,创建放大原图的工序称为原图工作(),然后生成原尺寸母版的工序称为复制照相()。


在光刻中,为了经济性和操作方便,对于小零件,会创建带有多个全尺寸零件图像的母版。这是因为,这样可以用一片金属材料一次加工出多个零件。


光刻胶中包括负片型()和正片型()两种类型。负片型的曝光部分会变为不溶于显影液,而正片型的曝光部分会变为可溶。因此,作为用于在材料表面形成所需零件的光刻胶图案的光掩模,对于负片型光刻胶应使用具有负片图像的光掩模,对于正片型光刻胶则应使用具有正片图像的光掩模。通常,负片型光刻胶的使用更为普遍。


已完成曝光和显影的金属材料,可在蚀刻工序中进行化学冲切加工。
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